VAT 真空閥專為高真空、超高真空和超高真空條件下的所有真空水平而設(shè)計。 VAT 真空閥在潔凈室條件下生產(chǎn)，并針對各自的應(yīng)用量身定制。除了高純度之外，VAT 真空閥因其高度精確的功能和耐用性而特別令人信服，即使在工藝條件下也是如此。 VAT 擁有全面的真空隔離和控制閥、氣體計量閥、傳輸閥、排氣閥和溢流閥以及快速關(guān)閉閥產(chǎn)品組合，可為所有應(yīng)用領(lǐng)域提供*佳解決方案。 技術(shù)決定為保證*佳的真空隔離或控制功能，VAT 真空閥使用 VAT 開發(fā)的不同真空閥技術(shù)。除了顆粒防止功能外，這些技術(shù)還確保了在大量關(guān)閉和控制循環(huán)中的精確操作。 因此，適用于各種應(yīng)用的 VAT 真空閘閥、真空角閥以及蝶形真空閥、擺式真空閥或全金屬真空閥為所有領(lǐng)域的真空閥解決方案設(shè)定了標準。 挑戰(zhàn)我們，我們也期待為您提供*佳解決方案。 除了我們網(wǎng)站上提供的標準解決方案外，我們也很樂意為您的真空系統(tǒng)開發(fā)量身定制的解決方案，請聯(lián)系我們。所有條件下的出色壓力控制 61.3 控制蝶閥提供出色的壓力控制性能。憑借其快速而精確的動作控制器 (0.1?s)，它是 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的解決方案。該板充當節(jié)流元件并改變閥門開口的傳導(dǎo)性。 61.3 的集成壓力控制器計算所需的板位置以盡可能快地達到設(shè)定壓力。 它專為氣流中含有顆粒的苛刻下游工藝而設(shè)計。盡管設(shè)計的顆粒負載和碎片堆積很高，但 61.3 仍可*運行。 61.3 系列已安裝在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。 61.3 系列具有堅固的設(shè)計和直接安裝選項，以及減少和易于維護，在各個方面都令人信服。 閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟泵）方面的各種設(shè)計選項簡化了與各種真空應(yīng)用的集成。61.3 提供控制蝶閥鋁制或不銹鋼材質(zhì)，帶有 ISO-KF 和 ISO-F 標準法蘭連接器。可以集成客戶特定的法蘭以及特殊功能，例如帶絕緣的集成加熱器。可根據(jù)要求提供各種 FFKM/FKM 彈性體（FKM Viton® 為標準配置）。 61.3 控制蝶閥的主要特點特征： 出色的壓力控制非?？焖俚牟僮饔糜诒镜夭僮鞯陌遢d軟件在惡劣的工藝條件下可靠運行好處： 更好的過程可控性正常運行時間長/性能不受限制運營成本低